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위험도 상KOSHA 권고✓ 원문 대조
KOSHA 기술지침 H-171-2023

4절~7절·8.4절·부록 수산화테트라메틸암모늄(TMAH) 취급 전자산업 근로자의 보건관리

TMAH(수산화테트라메틸암모늄) 는 반도체 포토공정에서 현상액으로 쓰이며 피부 접촉만으로 사망할 수 있는 물질이다. 위험의 핵심: 강염기성 용액으로 인한 화학적 화상은 피부흡수를 용이하게 하고, TMAH는 일반적으로 암모니아 냄새가 나지만 희석된 TMAH(약 2.38% 이하)는 냄새가 거의 나지 않거나 약한 암모니아 냄새가 나고 피부 노출 시 1∼2도 화상 수준이어서 취급자가 위험을 인지하지 못할 수 있다. 급성 독성(LD50, 쥐): 2.38% — 경구·경피 210 mg/kg, 20.0% — 경구·경피 25 mg/kg, 24.9% — 경구·경피 20 mg/kg 으로 농도가 높아질수록 치사량이 급격히 낮아진다. 사용 공정: 반도체 웨이퍼에 포토레지스트(PR) 를 도포하고 굳힘(Bake) 후 마스크를 올려 자외선을 조사해 회로패턴을 형성하는 포토공정(Photolithography) 에서 TMAH를 함유한 현상액을 사용한다. 작업환경관리 및 개인보호구: TMAH를 직접 취급하거나 접액 등의 노출 위험이 있는 경우에는 불침투성 보호복, 보호장갑, 보호장화, 보안경, 방독마스크 등을 갖추고 적절한 보호구를 사용하도록 하여야 한다. 냄새로 알 수 없으므로 누출 감지와 즉시 세척(세안·샤워) 설비를 갖추고, 피부 노출 시 화상이 가벼워 보여도 즉시 다량의 물로 세척하고 의료기관으로 이송하는 절차를 마련한다.

2도희석된 TMAH 는 냄새가 거의 나지 않고 피부 노출 시 1∼
2%냄새가 나지 않는

지금 해야 할 조치

  • 불침투성 보호복·보호장갑 등 지급
  • 세안·세척 설비 설치
  • 누출 감지·즉시 대응 절차 수립
  • 피부 노출 시 즉시 세척·의료기관 이송
  • TMAH 위험성 교육

📋사업주 의무사항

  1. TMAH를 직접 취급하거나 접액 등의 노출 위험이 있는 경우에는 불침투성 보호복, 보호장갑, 보호장화, 보안경, 방독마스크 등을 갖추고 적절한 보호구를 사용하도록 할 것
  2. 희석된 TMAH(약 2.38% 이하)는 냄새가 거의 나지 않고 피부 노출 시 1∼2도 화상 수준이어서 위험을 인지하지 못할 수 있음을 근로자에게 주지시킬 것
  3. 농도가 높아질수록 급성 독성이 급격히 커짐(2.38% LD50 210 mg/kg → 24.9% LD50 20 mg/kg)을 반영하여 고농도 취급 공정을 별도로 관리할 것
  4. 강염기성 용액에 의한 화학적 화상이 피부흡수를 용이하게 하므로 피부 접촉을 원천 차단할 것
  5. 포토공정 등 TMAH 사용 공정에 누출 감지 수단과 즉시 세척할 수 있는 세안·세척 설비를 갖출 것
  6. 피부 노출 시 화상이 가벼워 보여도 즉시 다량의 물로 세척하고 의료기관으로 이송하는 응급조치 절차를 마련할 것
  7. TMAH 취급 근로자에 대해 물질안전보건자료 교육과 작업환경측정·건강진단을 실시할 것
  8. 저장 용기 및 이송 배관의 일상점검을 일상점검시트로 확인하고 표준작업절차를 숙지·준수하게 할 것
  9. 배관 및 용기의 배관 접속부, 커플러, 플랜지 등 누출 가능 위치를 인지하고 근로자에게 공지할 것
  10. 작업장 내 MSDS를 비치하고, 배관 및 저장 용기에 작업자가 보기 쉬운 곳에 경고 표지 등 위험정보를 부착할 것
  11. 피부 노출로 인한 급성중독 시의 사망 가능성과, 냄새가 나지 않는 2% 이하의 TMAH라도 피부에 닿으면 심할 경우 사망한다는 사실 등 유해·위험성을 교육할 것
  12. TMAH의 특성에 맞는 응급처치 및 누출 시 우선 대피·대응 방법을 교육할 것
  13. 노출방지가 가능한 불침투성 개인 보호구(피부보호복·보호장갑·보호장화·보안경·복합가스용 방독마스크 등)를 지급하고 지급 대장을 관리하며 올바른 착용 방법을 주지시킬 것
  14. 작업장 내 누출 시 대피로, 비상 세척시설, 응급처치 장비를 제공하고 누출 시 우선 대피 등의 사고 대책·비상조치계획을 수립할 것
  15. 누출 등의 비상시 근로자가 작업중지권을 행사할 수 있게 하고, 작업 전후 작업자의 건강상태를 확인할 것
  16. 비정형작업(정비·해체 등) 시 배관 누출(Leak) 감지 센서 작동을 확인하고, 작업 전 배관의 잔여 압력과 배관 내부 잔여물질을 제거·확인하며, 안전작업허가서와 LOTO(Lock Out Tag Out)를 실시하고, 작업장소 내 외부인의 출입을 통제할 것
  17. 비정형작업 시 TMAH 배관 내 잔여 압력 및 물질 제거를 도급업체와 같이 확인할 것

🔍현장 점검 확인 항목

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⚠️위반 시 처벌

이 지침은 권고이나 세척시설 등(산안규칙 제508조), 관리대상 유해물질 관련 조치(제422조 이하), 물질안전보건자료의 게시·교육(산업안전보건법 제114조)은 법정 의무이며 위반 시 같은 법 제168조·제175조에 따라 처벌·과태료가 부과된다.

TMAH 피부 노출로 인한 사망 재해가 국내에서 발생했다. 보호구·세척설비·응급조치 절차를 갖추지 않은 사실은 중대재해처벌법 제4조 위반 판단의 근거가 된다.

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