반도체·디스플레이 공정의 특수가스(실란·포스핀·아르신 등)는 소량으로도 치명적이고 자연발화한다. 가스실 분리: 특수가스를 보관·공급하는 구역은 최소한 30분 이상의 내화성능을 갖는 벽으로 건물의 다른 지역과 분리되도록 하여야 한다. 이와 함께 가스누출감지경보기와 배기(스크러버) 설비를 두고, 용기 교체 등 취급 시 적정한 보호구와 2인 1조 원칙을 적용하며, 누출 시 즉시 차단·대피·통보 절차를 따르도록 한다. 특수가스는 독성·자연발화성·부식성이 물질마다 달라 물질별 특성과 응급조치를 물질안전보건자료로 확인하고 근로자에게 교육하여야 한다. 정상 운전 중에 배출되는 모든 폐 특수가스는 적절한 처리공정을 거치지 않고 대기 중으로 유출되어서는 안 된다.
이 지침은 권고이나 가스등의 용기 관리(산안규칙 제234조), 폭발 또는 화재 등의 예방(제232조), 물질안전보건자료의 게시·교육(산업안전보건법 제114조)은 법정 의무이며 위반 시 같은 법 제168조·제175조에 따라 처벌·과태료가 부과된다. 고압가스 안전관리법의 특정고압가스 사용신고 대상 여부도 확인해야 한다.
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