국소배기장치를 사기 전에 유해물질이 발생하지 않는 설비, 배출량을 줄이는 설비, 덜 해로운 물질, 발생 횟수가 적은 공정, 노출 작업자 감소, 뚜껑 닫기 같은 간단한 방법으로 대신할 수 있는지 먼저 점검한다. 국소배기장치는 후드, 덕트, 공기정화장치, 배풍기, 배기구의 순으로 설치하는 것을 원칙으로 하고 유지보수가 쉬운 구조로 하며, 후드는 발생원을 포위하는 형식을 우선하고 배출원에 가능한 한 가깝게 두되 무거운 유해물질이라도 바닥이 아닌 오염원의 상방이나 측방에 두며, 덕트는 사각형이 아닌 원형관으로 한다. 원활한 작동을 위해 보충용 공기를 공급해 작업장을 양압으로 유지하되 공급량은 배기량의 약 10% 정도가 넘어야 하고 깨끗한 지역에서 유해물질 지역으로 흐르게 하며, 겨울철 공급 온도는 18℃로 유지하고 바닥에서 2.4～3.0 m 높이로 유입시킨다. 옥외 배기구는 지붕으로부터 1.5 m 이상 높게 설치하고 상부 방향으로 10m/s 이상 속도로 배출해 재유입·확산을 막으며 내부식성 재질로 하고 하단에 배수밸브를 둔다. 국소배기장치는 신규 설치 후 최초 사용 전, 개조·수리 후 사용 전, 안전검사 대상 장치, 최근 2년간 작업환경측정 결과 노출기준 50% 이상인 경우에 검사한다. 제어풍속이 나오지 않는 성능부족은 댐퍼 오조정, 덕트 누설, 보충용 공기 부족, 벨트 이완, 전동기 배선 역결선, 덕트 연결부 탈락 등을 확인해 바로잡는다. 국소배기장치 내부 점검·보수 작업 전에는 송·배기설비로 계통 안의 가스·증기·분진을 제거하고, 설비가 없거나 고장이면 이동식 배기장치를 현장에 준비해 쓰며 계속 발생 우려가 있으면 작업 중 환기를 계속한다.
KOSHA 기술지원규정은 그 자체로는 권고이나, 이 절은 산업안전보건기준에 관한 규칙 제72조(후드)·제73조(덕트)·제74조(배풍기)·제75조(배기구)·제429조(국소배기장치의 성능)를 이행하는 설치·유지관리 기준이다. 국소배기장치 설치·성능 기준 위반의 형량은 HYG-072 룰의 처벌란과 같다.
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