반도체 공정은 실란(SiH₄)·디실란·포스핀(PH₃)·아르신(AsH₃)·디보란(B₂H₆) 같은 특수재료가스를 쓰기 때문에 자연발화·독성·산소결핍이 함께 걸린다. 가스공급시설은 바이패스 밸브를 배출가스 시스템 배관·덕트에 연결하고 배관에 가스 종류와 흐름 방향을 표시하며 점검·유지보수가 쉽게 배치한다. 특수재료가스 배관·밸브·접합부품·압력조정기는 자연발화성·가연성이면 불연성 재료, 부식성이면 내식성 재료를 쓰고, 질소 등 불활성가스로 퍼지할 수 있는 구조로 하며 접합부를 최소화하고 가스누설검사를 할 수 없는 장소의 배관은 용접이나 이음새로 연결하지 않는다. 가스용기는 지정된 전용 수납함에 두고, 저장함은 항상 배기해 부압을 유지하며 압력차가 일정 값 이하로 떨어지면 작동하는 경보기와 가스감지경보기를 설치하고, 주밸브 근접부에 긴급차단밸브(자연발화성·가연성은 방폭구조만) 를 단다. 용기는 환기가 잘되는 장소에 충전용기와 잔류가스 용기를 구분해 저장하고, 접촉·혼합으로 반응 위험이 있는 가스는 각각 구획된 장소에 저장한다. 클린룸의 공기순환은 특수재료가스 용기 설치 장소의 배기계통과 별도 계통으로 하고, 일반 출입구 외에 비상구를 설치해 피난경로를 사전에 알리고 표시한다. 공정 설비는 반응챔버에 대기 개방 시 특수재료가스 유입을 차단하는 인터록, 정전 시 안전 정지를 위한 상시 닫힘밸브와 비상정지 버튼, 웨이퍼 출납구 등에 국소배기장치를 갖춘다. 드라이에칭·이온주입 설비는 감전 우려 부분에 방호울·절연덮개, 고주파 전원 장치는 도어를 열면 전원이 차단되는 인터록, 고압 콘덴서 전하 방전용 단락봉, X선 발생장치는 차폐 덮개를 둔다. 산·알칼리·유기용제는 드래프트 챔버형·부스형 등 울타리식 후드에서 취급하고(곤란하면 외장형 후드 국소배기), 용기·밸브에 물질명을 표시하며 혼합 시 발포·비산·유해가스 발생 우려가 있으면 동일 장소에서 동시에 사용하지 않는다. 유지보수는 필요한 지식과 기술을 충분히 습득한 작업자가 하고, 유해가스가 체류할 우려가 있는 장비 내부 청소 전에는 질소 등 불활성가스로 치환하며, 검사·교환 결과와 조치 내용을 기록·보관한다. 진공펌프 오일 교환은 국소배기장치 후드를 발생원에 최대한 근접시켜 하고 곤란하면 에어라인마스크 등 호흡보호장비를 착용하며, 폐유는 신속히 용기에 옮겨 밀폐하고 세척 걸레는 밀봉한다. 가스감지설비는 클린룸 내 가스 체류 우려 장소·용기 수납함 내부·흡입덕트 내부에 설치하고 예비전원을 확보한다. 산소결핍 방지를 위해 불활성가스 배관에 명칭·흐름 방향·밸브 개폐방향을 표시하고 안전밸브 배출 불활성가스를 통풍이 불충분한 장소에 방출하지 않으며, 불활성가스 유출 시 산소결핍 위험이 있는 장소에는 산소결핍위험작업 책임자를 선임한다. 보호구는 동시 작업자 수 이상 비치하고 공기호흡기는 긴급 시 즉시 쓸 수 있는 장소에 둔다. 클린룸은 별도 환기계통과 비상구를 갖추고, 산·알칼리·유기용제는 울타리식 후드에서 취급하며, 용기 교체 후 질소로 배관을 치환하고 가스탐지기로 누출을 검사한다. 배관·밸브·패킹과 배기가스처리장치를 정기 점검하고 진공펌프 오일은 국소배기 아래에서 교환한다. 폐액 저장조에는 액면계·유출 방지조치를 하고 가스감지설비·긴급차단밸브와 예비전원을 두며, 청소·오일 교환·폐기물 이동·산 취급 시 호흡용 보호구·안면보호구·내약품성 장갑을 쓰고 긴급 시에는 공기호흡기를 쓴다.
이 규정은 권고이나 관리대상 유해물질 국소배기장치 설치(산안규칙 제422조), 폭발 또는 화재 등의 예방(제232조), 밀폐공간 작업 프로그램(제619조), 전기 기계·기구 등의 충전부 방호(제301조)는 법정 의무이며 위반 시 산업안전보건법 제168조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만원 이하의 벌금.
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